SuperViewW中圖儀器光學三維輪廓儀系統(tǒng)具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
SuperViewW臺式光學輪廓測量儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。不通倍率的鏡頭,適應于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。
SuperViewW國產3D光學表面輪廓儀結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,從而獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
中圖儀器國產3d輪廓測量儀SuperViewW系列以白光干涉技術為原理,用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。
SuperViewW白光三維光學輪廓測量儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
SuperViewW國產光學輪廓儀設備具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
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