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NS系列軟膜材料臺階高度儀采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點。它是利用光學干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

中圖儀器優(yōu)于4nm(SE)國產(chǎn)掃描電鏡憑借其簡便的操作系統(tǒng)，讓復雜的掃描電鏡使用過程變得簡單快捷。樣品一鍵裝入，自動導航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

CEM3000系列超清掃描顯微鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。其抗振設計，在充滿機械振動和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山，拍攝出清晰、高分辨率的圖像。

VT6000系列國產(chǎn)共聚焦3D顯微鏡在材料生產(chǎn)檢測領域中，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。

SuperViewW白光干涉測量膜厚儀器3D重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，測量精度可達亞納米級別。不通倍率的鏡頭，適應于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

中圖儀器SEM掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析。標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。